SuperView W1 光学3D表面轮廓仪是一款用于对精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。

SuperView W1 光学3D表面轮廓仪的操作较为简便，操作人员将工件放置在载物台上，调整载物台使被检测区域移动到物镜下方，调整Z轴高度，直至软件测量窗口出现干涉条纹，调节载物台上水平倾斜旋钮使视场内出现1~2个干涉条纹，点击按钮进行测量，光学物镜开始对器件表面进行扫描，软件实时获取图像并在扫描结束后重建出3D图像，操作者可在软件的分析界面中对图像进行处理，获取器件表面的线、面粗糙度、轮廓等2D、3D数据。

 SuperView W1 光学3D表面轮廓仪采用光学非接触式测量方法，它具有测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点，其光源模式保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。

 SuperView W1 光学3D表面轮廓仪广泛应用于半导体工艺检测、超精密加工、纳米材料、光学加工、集成电路工艺检测、汽车零部件、机器人、MEMS器件检测、薄膜检测、航空航天、科研院所等行业及领域中。可测各类从光滑到粗糙的物体表面，从纳米到微米级别工件的轮廓、线粗糙度、面粗糙度，提供依据ISO/ASME/GBT国内外标准近百余种2D、3D参数作为评价标准。

SuperView W1 光学3D表面轮廓仪技术指标：

光源		绿光LED
影像系统		1024×1024，（2048×2048可选）
干涉物镜		10×，（5×，20×，50×可选）
光学ZOOM		1×，（0.5×、0.75×可选）
物镜塔台		单孔
XY位移平台	尺寸	200×200mm（可定制）
	移动范围	25×25mm
	负载	10kg
	调节方式	手动
水平调整		±4°，手动
Z轴 聚焦	行程	100mm
	调节方式	电动
Z向扫描范围		100µm
Z向分辨率		0.1nm
*大扫描速度		30µm/s
台阶测量		不确定度	重复性
		1%	0.2%  1σ

注：性能参数依据ISO 4287和ISO 25178在实验室环境下采用4.7µm台阶高标准块测试。

光学规格表

物镜倍率			5×	10×	20×	50×
数值孔径			0.13	0.3	0.4	0.55
光学分辨率@550nm（µm）			2.1	0.92	0.69	0.5
焦深（µm）			16.2	3.04	1.71	0.9
工作距离（mm）			9.3	7.4	4.7	3.4
视场 H×V (mm)	影像系统 1024×1024	0.5×	1.92×1.92	0.96×0.96	0.48×0.48	0.192×0.192
		0.75×	1.28×1.28	0.64×0.64	0.32×0.32	0.128×0.128
		1×	0.96×0.96	0.48×0.48	0.24×0.24	0.096×0.096
	影像系统 2048×2048	0.5×	4.48×4.48	2.24×2.24	1.12×1.12	0.448×0.448
		0.75×	3.22×3.22	1.61×1.61	0.805×0.805	0.322×0.322
		1×	2.24×2.24	1.12×1.12	0.56×0.56	0.224×0.224

2．仪器尺寸（长×宽×高）： 主机：590×600×790mm；
3．仪器主机重量：小于120Kg；
4．使用环境：无强磁场，无振动，无腐蚀气体
工作温度：15℃ ~ 30℃,温度梯度<1℃/15分钟
相对湿度：40-60%，无凝结