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激光干涉仪是一种以波长作为标准对被测长度进行测量的仪器。激光干涉仪是20世纪60年代末期问世的一种新型的测量设备，其主要在：线形、角度、垂直度、直线度、平面度等方面上应用。随着激光干涉仪测量技术的不断提高，测量软件的不断开发其测量范围越来越广泛，特别是在测量数控机床位置精度方面用途广泛。
国产高性能激光干涉仪（SJ6000）采用进口高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现多种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(约8分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光输出，采用不同的光学镜组可以测量出线性长度、角度、直线度、平行度、平面度以及垂直度等几何量，并且可以进行动态测量分析。
国产高性能激光干涉仪（SJ6000）性能特点：
精度高
以激光干涉技术为核心，分辨力可达纳米级；采用高精度环境补偿模块，解决了温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响；使用激光热稳频控制系统，保证激光长期稳频精度；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，保证干涉光路稳定。
功能广
具有实现线性、角度、直线度、垂直度、回转轴等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、直线度和垂直度；并可以校准机床的回转轴。
可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为机床误差修正提供依据。
具有动态测量(位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线) 及测量振幅和频率分析的功能，可进行振动分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析等。
支持手动或自动进行环境补偿。
标准多
内置国内外通用的标准，含国标(GB) 、ISO(国际) 、BS(英制) 、美标、DIN(德标) 、JIS(日标)共13份。可依据各种不同的测量标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。
便携性
使用方便：准直激光后，轻易实现设备线性定位、重复定位精度、反向间隙、角度、直线度的测量。
携带方便：基本重量为18kg，简单便携。
记录管理方便，可定制
测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理测量记录。可定制专属企业模板，增加企业商标。
激光干涉仪测量分析软件支持以下检验标准：内置国内外通用的标准，含国标(GB) 、ISO(国际) 、BS(英制) 、美标、DIN(德标) 、JIS(日标)共13份。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。
国产高性能激光干涉仪（SJ6000）数据库内置标准：
高性能激光干涉仪（SJ6000）技术指标：
系统性能
测量方式：单频
稳频精度：±0.05ppm
动态采集频率：50 kHz
预热时间：约8分钟
工作温度范围：(0～40)℃
存储温度范围：(-20～70)℃
环境湿度：(0～95)%RH
环境补偿示值误差
空气温度传感器：±0.1℃(0～40)℃，分辨力0.01℃
材料温度传感器：±0.1℃(0～55)℃，分辨力0.01℃
空气湿度传感器：±5%RH (0～95) %RH
大气压力传感器：±0.1kPa (65～115)kPa
线性测量
测量距离：(0～80)m
测量精度：±0.5ppm (0～40)℃
测量分辨力：1nm
测量*大速度：4m/s
角度测量
轴向量程：(0～15)m
测量范围：±10°
测量精度：±(0.02%R+0.1+0.25M) ″(R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)
测量分辨力：0.1″
平面度测量
轴向量程：(0～15)m
测量范围：±1.5 mm
测量精度：±(0.2%R+0.02M2) μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)
基板尺寸：180mm可调，360mm可调
测量分辨力：0.1μm
直线度测量
垂直度测量
精密转台
型号：WR50
角度测量范围：(0～360)°
测量精度：±1″
分辨力：0.1″
*高转速：10rpm
重量：2.1kg
供电：锂电池
通信：蓝牙传输
触发盒
型号：CT70
供电：DC 12V
信号输入：差分TTL（RS422）正交编码信号、10uApp微电流信号
输出形式：10us脉冲
触发延时：0.1us
尺寸重量与供电
便携箱尺寸：外尺寸：613mm×460mm×230mm
线性配置重量：18Kg
供电电源：(100～240)VAC
国产高性能激光干涉仪（SJ6000）采用进口高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现多种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(约8分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光输出，采用不同的光学镜组可以测量出线性长度、角度、直线度、平行度、平面度以及垂直度等几何量，并且可以进行动态测量分析。
国产高性能激光干涉仪（SJ6000）性能特点：
精度高
以激光干涉技术为核心，分辨力可达纳米级；采用高精度环境补偿模块，解决了温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响；使用激光热稳频控制系统，保证激光长期稳频精度；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，保证干涉光路稳定。
功能广
具有实现线性、角度、直线度、垂直度、回转轴等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、直线度和垂直度；并可以校准机床的回转轴。
可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为机床误差修正提供依据。
具有动态测量(位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线) 及测量振幅和频率分析的功能，可进行振动分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析等。
支持手动或自动进行环境补偿。
标准多
内置国内外通用的标准，含国标(GB) 、ISO(国际) 、BS(英制) 、美标、DIN(德标) 、JIS(日标)共13份。可依据各种不同的测量标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。
便携性
使用方便：准直激光后，轻易实现设备线性定位、重复定位精度、反向间隙、角度、直线度的测量。
携带方便：基本重量为18kg，简单便携。
记录管理方便，可定制
测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理测量记录。可定制专属企业模板，增加企业商标。
激光干涉仪测量分析软件支持以下检验标准：内置国内外通用的标准，含国标(GB) 、ISO(国际) 、BS(英制) 、美标、DIN(德标) 、JIS(日标)共13份。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。
国产高性能激光干涉仪（SJ6000）数据库内置标准：
| 序号 | 标准号 | 标准名称 |
| 1 | GB 17421-2000 | 中国国家标准 |
| 2 | GB 10931-89 | 中国国家标准 |
| 3 | ISO230-1997 | 1997版国际标准 |
| 4 | ISO230-2006 | 2006版国际标准 |
| 5 | ISO230-2014 | 2014版国际标准 |
| 6 | ANSI B5.54 | 美国国家标准 |
| 7 | ASME B89.1.12M | 美国机械工程师协会标准 |
| 8 | NMTBA | 美国机床协会标准 |
| 9 | BS 3800 | 英国机床标准 |
| 10 | BS 4656 | 英国三测机标准 |
| 11 | JIS B6330 | 日本国家标准 |
| 12 | VDI 3441 | 德国机床标准 |
| 13 | JJG 117-2005 | 平板检定规程 |
高性能激光干涉仪（SJ6000）技术指标：
系统性能
测量方式：单频
稳频精度：±0.05ppm
动态采集频率：50 kHz
预热时间：约8分钟
工作温度范围：(0～40)℃
存储温度范围：(-20～70)℃
环境湿度：(0～95)%RH
环境补偿示值误差
空气温度传感器：±0.1℃(0～40)℃，分辨力0.01℃
材料温度传感器：±0.1℃(0～55)℃，分辨力0.01℃
空气湿度传感器：±5%RH (0～95) %RH
大气压力传感器：±0.1kPa (65～115)kPa
线性测量
测量距离：(0～80)m
测量精度：±0.5ppm (0～40)℃
测量分辨力：1nm
测量*大速度：4m/s
角度测量
轴向量程：(0～15)m
测量范围：±10°
测量精度：±(0.02%R+0.1+0.25M) ″(R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)
测量分辨力：0.1″
平面度测量
轴向量程：(0～15)m
测量范围：±1.5 mm
测量精度：±(0.2%R+0.02M2) μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)
基板尺寸：180mm可调，360mm可调
测量分辨力：0.1μm
直线度测量
| 轴向量程 | 测量范围 | 测量精度 | 分辨力 | |
| 短距离 | (0.1～4.0)m | ±3mm | ±(0.5+0.1%R+0.1M2) μm | 0.01μm |
| 长距离 | (1.0～30.0)m | ±3mm | ±(5.0+2.0%R+0.05M2) μm | 0.1μm |
| 注：R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m | ||||
| 轴向量程 | 测量范围 | 测量精度 | 分辨力 | |
| 短距离 | (0.1～3.0)m | ±3mm | ±(0.5+0.1%R+0.2M)″ | 0.01μm |
| 长距离 | (1.0～20.0)m | ±3mm | ±(0.5+0.5%R+0.04M)″ | 0.1μm |
| 注：R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m | ||||
型号：WR50
角度测量范围：(0～360)°
测量精度：±1″
分辨力：0.1″
*高转速：10rpm
重量：2.1kg
供电：锂电池
通信：蓝牙传输
触发盒
型号：CT70
供电：DC 12V
信号输入：差分TTL（RS422）正交编码信号、10uApp微电流信号
输出形式：10us脉冲
触发延时：0.1us
尺寸重量与供电
便携箱尺寸：外尺寸：613mm×460mm×230mm
线性配置重量：18Kg
供电电源：(100～240)VAC
