此款全自动清洗机适用于晶圆、QFN、玻璃和陶瓷切割后的清洗设备，此系列共有高压水和二流体两种清洗方案。采用人性化的全彩色触摸屏作为操作界面，令整机更为易用，无需培训就可立即上手操作。 主要功能: ■提供高压水和二流体两种清洗方案供分开或组合选择。 ■适用于蓝膜、UV 膜、PET 衬底膜和双层膜。 ■主轴采用用于航空的磁流体密封技术，性能安全、可靠。 ■采用离心式自动抓紧锁扣或提供不超过两个需人工干预的重物件夹紧结构。 ■配备5.7 英寸全彩色触摸屏，集成显示相关信息和功能操作。 ■一键式全自动执行清洗和吹干动作，整个过程无需人工干预。 ◆ 高压水和二流体两种清洗方案： 除提供传统高压水的清洗方案外，还提供采用二流体的清洗方案，在保证清洗效果的同时也减少 了对芯片的损害。 可独立选择机器采用高压水（A）或二流体（B）的清洗方式，也可以选择双摆臂的组合（AB）方式。 ◆ 磁流体密封技术的主轴： 采用了应用于航天工程的磁流体密封技术的主轴，保证真空吸附的真空度，保证工作件不会因真空 泄漏而脱离旋转台盘，从而损坏工作件。 由于是采用液体密封技术，大大提高了主轴的寿命，令主轴更安全，更可靠。 ◆ 配备5.7 英吋全彩色触摸屏： 人性化的触摸屏界面，集成了所有的参数设计和功能操作；并提供信息和错误显示，让所有操作和 信息一目了然。